PI Katalog 1998, Mikropositionierung / Nanopositionierung.
� 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co

Piezoelektrische Aktuatoren: Hochpr�zise Stellglieder

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Piezoelektrische Aktuatoren.................................................................................................... 1

Piezoelektrische Aktuatoren im �berblick............................................................................... 2

Piezoelektrische Aktuatoren � Stellglieder f�r den Nanometerbereich................................... 2

P-249 Miniatur-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren................................................................... 4

P-802.00, P-802.10, P-804.10 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren ohne Geh�use............... 5

P-305, P-306 HVPZT-Ringtranslatoren ohne Geh�use.......................................................... 6

P-250 HV-PZT Piezo-Translator f�r Mikrometerschrauben.................................................... 7

P-810 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten................................................... 8

P-830 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren.............................................................................. 9

P-820 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten................................................. 10

P-410 Pico Piezo-Translatoren mit kapazitivem Positionssensor........................................ 11

P-840, P-841 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor 12

P-842, P-843 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor 13

P-844, P-845 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor 14

P-170 ..., P-178 Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor.................. 15

P-244, P-245 Vorgespannte Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor 17

P-239 Vorgespannte Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor........... 19

P-242, P-246 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor� 20

P-243, P-247 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor� 21

P-286, P-288, P-289 HVPZT-Disk-Translatoren................................................................... 22

P-803 Multilayer-LVPZT-Biege-Aktoren................................................................................. 23

PT120 PT130 PT 140 Piezokeramik-R�hrchen.................................................................... 24

Speziall�sungen f�r OEM-Piezokeramik-Anwendungen...................................................... 25

Piezokeramische Materialien............................................................................................. 25

OEM-Piezo-Translatoren................................................................................................... 26

Optionen und Zubeh�r........................................................................................................... 27

Optionen (ab Werk)............................................................................................................ 27

P-177.10 DMS Positionssensor f�r HVPZT Stapeltranslatoren..................................... 27

Erweiterter Temperaturbereich....................................................................................... 27

Vakuum Optionen........................................................................................................... 28

P-705.00 Positive Polarit�t (f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)............................... 28

P-706.00 Wassergesch�tztes Geh�use........................................................................ 28

Kugelkopfst�cke.............................................................................................................. 28

Zubeh�r.............................................................................................................................. 29

Kabel und Adapter........................................................................................................... 29

P-176.10/20/30 Magnetadapter....................................................................................... 29

P-176.50/60 Flexibles Kopfst�ck.................................................................................... 29

Hinweise (Technische Daten)............................................................................................... 30

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Piezoelektrische Aktuatoren im �berblick

Piezoelektrische Aktuatoren � Stellglieder f�r den Nanometerbereich

PI bietet die weltweit gr��te Auswahl an hochaufl�senden Piezoelektrische Aktuatoren und f�r industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Neben den hunderten von Modellen, die in diesem Katalog vorgestellt werden, liefern wir auch Sonderanfertigungen nach den W�nschen unserer Kunden. Unsere vertikale Firmenstruktur erlaubt es uns, jeden Schritt, von der Herstellung des Piezo-Rohmaterials �ber die anspruchsvolle Sensorik und Regeltechnik bis zum Endtest des kompletten Systems, zu kontrollieren.

Piezoelektrische Aktoren haben viele Vorteile:

� Sub-Nanometer-Aufl�sung

� Generierung gro�er Kr�fte

� Ansprechzeit im Sub-Millisekunden-Bereich.

� Keine magnetischen Felder

� Extrem geringe Leistungsaufnahme im Ruhezustand

� Keine Abnutzung

� Vakuum- und Reinraum kompatibel

� Betrieb bei kryogenen Temperaturen

Anwendungen von Piezoelektrische Aktuatoren:

Optik, Photonik und Me�technik

� Bildstabilisierung

� Scanning-Mikroskopie

� Auto Fokus Systeme

� Interferometrie

� Faseroptische Positionierung und -Schalter

� Adaptive und aktive Optik

� Lasertuning

� Spiegel-Scanner

� Stimulation von Vibrationen

Disk-Drive

� Schreib- / Lesekopf-Testsysteme

� Spin-Stands

� Disk-Testsysteme

� Aktive Vibrationsd�mpfung

Mikroelektronik

� Nano-Metrologie

� Wafer- und Masken-Positionierung

� Critical-Dimension-Messung

� Mikrolithographie

� Inspektionssysteme

� Aktive Vibrationsd�mpfung

Pr�zisionsmechanik und Maschinenbau

� Aktive Vibrationsd�mpfung

� Strukturelle Verformung

� Unrunddrehen, -bohren, -schleifen

� Werkzeug-Feineinstellung

� Verschlei�-Kompensation

� Nadelventil-Steuerung

� Mikropumpen

� Linearantriebe

� Schlitzd�sensteuerung in Extrusionsmaschinen

� Mikrogravursysteme

� Schockwellenerzeugung

Medizin, Biologie

� Scanning-Mikroskopie

� Patch-Clamp Systeme

� Gentechnik

� Mikromanipulation

� Zellpenetration

� Mikrodosierger�te

� Schockwellenerzeugung

� Audiophysiologische Anregung

Weitere Informationen zur Funktion und Theorie von Piezo-Aktoren entnehmen Sie bitte dem Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

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P-249 Miniatur-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren

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� Stellwege bis 10 �m

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Hoch- und Tieftemperatur

P-249 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Wegen ihrer hohen Resonanzfrequenz sind diese Translatoren ideal f�r hochdynamische Anwendungen mit geringen Massen geeignet. F�r dynamische Anwendungen mit gr��eren Massen wird eine externe Vorspannung ben�tigt. PI bietet eine Vielzahl von vorgespannten Translatoren f�r Anwendungen mit gr��eren Zugbelastungen (siehe folgende Seiten).

Aufgrund der offenen Bauweise der Translatoren sind dringend die Montagehinweise auf Seite ) zu beachten.

Anwendungsbeispiele: Lasertuning, statische und dynamische Positionierung kleiner Teile, Faserpositionierung, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P249�� P-249 Translatoren

�� Abb. P249�� P-249 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-702.10 �� Hochtemperatur-Option (s. Seite 28)

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.10 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-249.10 in P-249.17.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

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P-802.00, P-802.10, P-804.10 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren ohne Geh�use

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� Stellwege bis 15 �m

� Druckbelastbarkeit bis 3000 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� F�r OEM-Anwendungen

P-802 und P-804 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch eine Epoxy- und Schrumpfschlauchisolation gesch�tzt ist, die gleichzeitig als Zugentlastung der Anschlu�kabel dient.

Aufgrund der offenen Bauweise der Translatoren sind dringend die Montagehinweise auf Seite ) zu beachten.

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Faserpositionierung, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P802-4�� P-802, P-804 Translatoren

�� Abb. P802-4�� P-802, P-804 Abmessungen

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

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P-305, P-306 HVPZT-Ringpiezotranslatoren ohne Geh�use

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� Stellwege bis 40 mm

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-Nanometer Aufl�sung

� Freier Durchgang f�r Durchlicht-Anwendungen

P-305 und P-306 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Translatoren der P-300 Serie sind besonders gut geeignet f�r die Feinpositionierung von optischen Komponenten und f�r Pr�zisionsmechanik-Anwendungen. Die axiale Bohrung ist ideal f�r Anwendungen im Strahlengang.

Anwendungsbeispiele: Optik, Lasertuning, Bildstabilisierung, konfokale Mikroskopie, schnelle Ventilsteuerung, Pr�zisionsmechanik, Mikropositionierung, Mikrobearbeitung

�� Abb. P306�� P-306 Ringtranslatoren

�� Abb. P305�� P-305 Abmessungen

�� Abb. P306�� P-306 Abmessungen

Die Piezoaktuatoren liefern Stellwege von 5 mm bis 40 mm und werden mit zwei Standarddurchmessern angeboten:

� 10 mm Au�endurchmesser und 5 mm Innendurchmesser

� 16 mm Au�endurchmesser und 8 mm Innendurchmesser

UHV-, Tieftemperatur-, Hochtemperatur- und positionsgeregelte Versionen sind auf Anfrage erh�ltlich.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

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P-250 Hochvolt-PZT Piezo-Translator f�r Mikrometerschrauben

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� Stellweg 20 �m

� F�r Montage in Mikrometerschrauben

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Option: Positive Polarit�t

P-250 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren, die speziell f�r die Integration in die Linearantriebe M-222 bis M-226 DC-Mike, M-168 Stepper-Mike und die Mikrometerschrauben M-631 bis M-633 entwickelt wurden (siehe Kapitel "Mikropositionierer"). Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Anwendungsbeispiele: Lasertuning, statische und dynamische Positionierung kleiner Teile, Faserpositionierung, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P250�� P-250 Translator

Abb. P250�� P-250 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-250.10 in P-250.17.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-810 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten

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� Stellwege bis 45 �m

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

P-810 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen mit geringen Kr�ften. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. Wegen der kleinen Abmessungen ist keine Vorspannung integriert. P-810 Translatoren sind empfindlich gegen�ber Zug-, Biege- und Querkr�ften (siehe Montagehinweise auf Seite ).

Die Ankopplung der Translatoren geschieht �ber die ferromagnetischen Endst�cke mittels Magneten oder Epoxykleber (klemmen am Geh�use ist nicht m�glich). PI bietet eine Vielzahl von vorgespannten Translatoren f�r Anwendungen mit gr��eren Zugbelastungen (siehe folgende Seiten).

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung (kleine Kr�fte) von kleinen Teilen, Faserpositionierung, Lasertuning, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P810�� P-810 Translatoren

�� Abb. P810�� P-810 Abmessungen

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-830 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren

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� Stellwege bis 60 �m

� Druckbelastbarkeit bis 1000 N

� Zugbelastbarkeit bis 20 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

P-830 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. Wegen der kleinen Abmessungen ist keine Vorspannung ins Geh�use integriert. P-830 Translatoren sind empfindlich gegen�ber Zug-, Biege- und Querkr�ften (siehe Montagehinweise auf Seite ).

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Faserpositionierung, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P830�� P-830 Translatoren

�� Abb. P830�� P-830 Abmessungen

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-820 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten

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� Stellwege bis 45 �m

� Druckbelastbarkeit bis 50 N

� Zugbelastbarkeit bis 10 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Option: Kugelkopfst�ck

P-820 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird.

Wegen der kleinen Abmessungen sind diese Translatoren empfindlich gegen�ber Biege- und Querkr�ften.�

Das Kopfst�ck des Translators besitzt eine Edelstahlfl�che. Die Option Kugelkopfst�ck (P-820.95) dient dazu, Momente und nichtzentrische Kr�fte vom Translator zu entkoppeln. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 3 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden. F�r eine magnetische Ankopplung, kann der Magnetadapter P-176.30 auf das Kopfst�ck geklebt werden.

Anwendungsbeispiele: Statische und niedrig-dynamische Positionierung von kleinen Teilen, Faserpositionierung, Lasertuning, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P-820�� P-820 Translatoren

�� Abb. P-820�� P-820 Abmessungen

Optionen (ab Werk):

P-820.95�� Kugelkopfst�ck (s. Seite 28)

Zubeh�r:

P-176.30 Magnetischer Adapter (s. Seite 29)

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-410 Pico Piezo-Translatoren mit kapazitivem Positionssensor

� Sub-nm-Aufl�sung und Wiederholbarkeit

� Integrierter kapazitiver Positionssensor

� Durchgehender Invaraufbau

� Stellwege bis 45 �m

� Schnelle Ansprechzeit f�r Proze�optimierung

� Hohe Linearit�t und Langzeitstabilit�t

PIco Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie vereinen die Vorteile von piezokeramischen Aktoren und kapazitiven Positionssensoren auf kleinstem Raum und bieten die beste Kombination von Aufl�sung, Linearit�t, Bandbreite und Ansprechzeit aller Linearaktoren auf dem Markt.

Anwendungsbeispiele: Disk-Drive-Testst�nde, Nano-Automation, Metrologie, Halbleiter Testausr�stung, Wafer Stepper, Mikrolithographie, Optik, etc. (s. Seite 2).

PIco Translatoren wurden f�r Entwicklungs- und Produktionsingenieure entwickelt, die h�chste Aufl�sung, Linearit�t und Wiederholbarkeit ben�tigen und auf ein integriertes F�hrungssystem wie bei unseren Piezo-NanoPositioniertischen verzichten m�chten.

Arbeitsprinzip: Die Piezoaktuatoren sind mit intern vorgespannten piezokeramischen Stapeln ausger�stet, die von einem Geh�userohr aus unmagnetischem Edelstahl gesch�tzt sind. Die Bewegung des Kopfst�ckes wird von einem ultrahochaufl�senden kapazitiven Positionssensor gemessen, was h�chste Regelgenauigkeit garantiert. Der durchgehende Invaraufbau und die Verwendung von thermisch aufeinander abgestimmten Komponenten erm�glicht eine au�ergew�hnlich hohe Positionsstabilit�t.

Die Kopf- und Fu�st�cke der Translatoren sind mit Montagegewinden versehen. Ein Kugelkopfst�ck zur Entkopplung von Momenten oder nicht zentrischen Belastungen ist im Lieferumfang enthalten.

Abb. P410�� P-410 Translatoren

Abb. P410�� P-410 Abmessungen

Abb. P410res�� Ansprechverhalten eines P-410.C15 bei Rechteckansteuerung mit 1 nm Amplitude (Steuerelektronik: E-501 & E-507.00 & E-509.C1; Reglereinstellung: 240 Hz Bandbreite, 2 ms Einschwingzeit)

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-840, P-841 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 90 �m

� Druckbelastbarkeit bis 1000 N

� Zugbelastbarkeit bis 100 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: Kugelkopfst�ck, UHV

P-840 und P-841 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die interne Vorspannung sind sie hervorragend f�r Zugbelastungen und dynamische Anwendungen geeignet.

P-840 ist f�r Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. F�r h�chste Genauigkeit im geschlossenen Regelkreis, sollte die Version P-841 mit integrierten hochaufl�senden DMS-Positionssensoren eingesetzt werden (weitere Hinweise s. Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", S. , ).

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. Die Kopf- und Fu�st�cke der Translatoren besitzen Gewindebohrungen. Die Option Kugelkopfst�ck (P-840.95) dient dazu, Momente und nichtzentrische Kr�fte vom Translator zu entkoppeln.

F�r Zug- /Druckkr�fte bis 5 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden. F�r eine magnetische Ankopplung kann der Magnetadapter P-176.20 in das Kopfst�ck eingeschraubt werden.

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Disk-Drive-Testsysteme, aktive Strukturen, adaptive Mechanik, aktive Schwingungsd�mpfung, schnelle Schalter, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P840-1�� P-840, P-841 Translatoren

�� Abb. P840-841� P-840, P-841 Abmessungen

�� Abb. P841resol Ansprechverhalten eines P-841.10 bei Rechteckansteuerung mit 3 nm Amplitude (Steuerelektronik: E-501 & E-507.00 & E-509.C1, Reglereinstellung: 240 Hz Bandbreite, 2 ms Einschwingzeit).

Optionen (ab Werk):

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-840.95�� Kugelkopfst�ck (s. Seite 28)

Zubeh�r:

P-176.20 Magnetadapter mit M3 Gewinde (s. Seite 29)

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

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P-842, P-843 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 90 �m

� Druckbelastbarkeit bis 800 N

� Zugbelastbarkeit bis 300 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV

P-842 und P-843 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die interne Vorspannung von 300 N sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau geeignet.

P-842 ist f�r Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. F�r h�chste Genauigkeit im geschlossenen Regelkreis sollte die Version P-843 mit integrierten hochaufl�senden DMS-Positionssensoren eingesetzt werden (weitere Hinweise s. Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", S. , ).

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 100 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden. Das Flexible Kopfst�ck P-176.50 kann zum Schutz der Keramik vor Biegekr�ften aufgeschraubt werden (s. Seite 29).

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Disk-Drive-Testsysteme, Optik, Metrologie, aktive Strukturen, Pr�zisionsfertigung, adaptive Mechanik, aktive Schwingungsd�mpfung, schnelle Schalter, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P843-30�� P-842.30 Translator

�� Abb. P842-843� P-842, P-843 Abmessungen

Optionen (ab Werk):

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

Zubeh�r:

P-176.50�� Flexibles Kopfst�ck (s. Seite 29)

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-844, P-845 Vorgespannte Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 90 �m

� Druckbelastbarkeit bis 3000 N

� Zugbelastbarkeit bis 700 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Wassergesch�tzt

P-844 und P-845 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die interne Vorspannung von 700 N sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau geeignet.

P-844 ist f�r Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. F�r h�chste Genauigkeit im geschlossenen Regelkreis, sollte die Version P-845 mit integrierten hochaufl�senden DMS-Positionssensoren eingesetzt werden (weitere Hinweise s. Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", S. , ).

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Vielschicht-Piezokeramik-Stapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 100 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden. Das Flexible Kopfst�ck P-176.60 kann zum Schutz der Keramik vor Biegekr�ften aufgeschraubt werden (s. Seite 29).

�� Abb. P-844-20�� P-844.20 Translator

�� Abb. P-844-845 P-844, P-845 Abmessungen

Optionen (ab Werk):

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-706.00�� Wassergesch�tztes Geh�use (s. Seite 28)

Zubeh�r:

P-176.60 Flexibles Kopfst�ck (s. Seite 29)

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

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� 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co

P-170 ..., P-178 Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 80 �m

� Druckbelastbarkeit bis 2000 N

� Zugbelastbarkeit bis 50 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Hoch- und Tieftemperatur, Verschiedene Endst�cke

P-170 in 173 und P-178 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Die Standardausf�hrungen sind f�r den Betrieb im offenen Regelkreis vorgesehen. F�r h�chste Genauigkeit im geschlossenen Regelkreis wird die Option P-177.10 (integrierte hochaufl�sende DMS-Positionssensoren) empfohlen (weitere Hinweise s. Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", S. , ).

P-178 Modelle sind mit d�nneren Piezokeramikscheiben ausger�stet als die P-170 bis P-173 Modelle und bieten dadurch einen gr��eren Stellweg bei gleichen Abmessungen. Ihre maximale Betriebsspannung ist auf -1000 V begrenzt, wobei Spannungen �ber -750 V nur f�r kurze Zeit anliegen sollten.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Piezokeramikstapel, der durch ein Aluminiumgeh�use gesch�tzt wird. Das Kopfst�ck ist ein Magnet, das Standardfu�st�ck eine ferromagnetische Stahlfl�che. Eine Vielzahl von optionalen Kopf- und Fu�st�cken werden zur Erleichterung der Montage angeboten. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 3 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden.

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Optik, Metrologie, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P170-8�� P-170 ... P-178 Translatoren

�� Abb. P170-8�� P-170 ... P-178 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-177.10 �� Positionssensor, (DMS, s. Seite 27), nicht f�r P-170.00, P-178.10

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.10 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

P-700.10�� M4 Kopfst�ck

P-700.01�� M4 Fu�st�ck

P-700.20�� M5 Kopfst�ck

P-700.02�� M5 Fu�st�ck

P-700.03�� M8 Fu�st�ck

P-700.40�� 4/40 Kopfst�ck

P-700.04�� 4/40 Fu�st�ck

P-700.50�� Flaches Kopfst�ck, Wolframstahl

P-700.60�� Flaches Kopfst�ck, Wolframstahl, poliert

P-700.70�� Kugelkopfst�ck (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-170.00 in P-170.07.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

�� Abb. P170Optionen�� P-170 ... P-178 Optionen

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� 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co

P-244, P-245 Vorgespannte Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 120 �m

� Druckbelastbarkeit bis 2000 N

� Zugbelastbarkeit bis 300 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Tief- u. Hochtemperatur

P-244 und P-245 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die interne Vorspannung sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau geeignet.

P-245 Modelle sind mit d�nneren Piezokeramikscheiben ausger�stet als die P-244 Modelle und bieten dadurch einen gr��eren Stellweg bei gleichen Abmessungen. Ihre maximale Betriebsspannung ist auf -1000 V begrenzt, wobei Spannungen �ber -750 V nur f�r kurze Zeit anliegen sollten.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Piezokeramikstapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. Die Kopf- und Fu�st�cke der Translatoren besitzen Gewindebohrungen. Die Option Kugelkopfst�ck (P-244.95) dient dazu, Momente und nichtzentrische Kr�fte vom Translator zu entkoppeln. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 5 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden.

F�r die Positionierung von magnetischen Teilen kann der Magnetadapter P-176.10 in das Kopfst�ck eingeschraubt werden

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, Optik, Metrologie, aktive Strukturen, Pr�zisionsfertigung, adaptive Mechanik, aktive Schwingungsd�mpfung, schnelle Schalter, Lasertuning, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P244-5�� P-244, P-245 Translatoren

�� Abb. P244-245� P-244, P-245 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-177.10 �� Positionssensor, (DMS, s. Seite 27)

P-702.10 �� Hochtemperatur-Option (s. Seite 28)

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

P-244.95�� Kugelkopfst�ck (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-244.00 in P-244.07.

Zubeh�r:

P-176.10 Magnetadapter mit M5 Gewinde (s. Seite 29)

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller��.

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P-239 Vorgespannte Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 180 �m

� Druckbelastbarkeit bis 4500 N

� Zugbelastbarkeit bis 500 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Tief- u. Hochtemperatur

P-239 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die interne Vorspannung sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau geeignet.

P-239 Modelle sind mit besonders d�nnen Piezokeramikscheiben ausger�stet und bieten Stellwege bis 180 �m bei -1000 V Betriebsspannung. F�r maximale Lebensdauer sollten Spannungen �ber -750 V nur f�r kurze Zeit anliegen.

Die Piezoaktuatoren bestehen aus einem Piezokeramikstapel, der durch ein intern vorgespanntes Geh�use aus unmagnetischem Stahl gesch�tzt wird. Die Kopf- und Fu�st�cke der Translatoren besitzen Gewindebohrungen. Die Option Kugelkopfst�ck (P-239.95) dient dazu, Momente und nichtzentrische Kr�fte vom Translator zu entkoppeln. F�r Zug- /Druckkr�fte bis 5 N kann der Translator am Geh�use geklemmt werden. Bei gr��eren Belastungen mu� der Translator am Fu�st�ck montiert werden.

�� Abb. P239�� P-239 Translatoren

�� Abb. P239�� P-239 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-177.10 �� Positionssensor, (DMS, s. Seite 27), nicht f�r P-239.00 / .10

P-702.10 �� Hochtemperatur-Option (s. Seite 28)

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

P-239.95�� Kugelkopfst�ck (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-239.00 in P-239.07.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

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P-242, P-246 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 120 �m

� Druckbelastbarkeit bis 12500 N

� Zugbelastbarkeit bis 2000 N

� Sub-ms-Ansprechzeit

� Sub-nm-Aufl�sung

� Optionen: UHV, Tief- u. Hochtemperatur, Wassergesch�tzt

P-242 und P-246 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die hohe Belastbarkeit und die interne Vorspannung sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau und zur aktiven Schwingungsd�mpfung geeignet.

P-246 Modelle sind mit d�nneren Piezokeramikscheiben ausger�stet als die P-242 Modelle und bieten dadurch einen gr��eren Stellweg bei gleichen Abmessungen. Ihre maximale Betriebsspannung ist auf -1000 V begrenzt, wobei Spannungen �ber -750 V nur f�r kurze Zeit anliegen sollten.

Die Modelle P-246.xx, P-242.30 und P-242.40 sind mit intern vorgespannten Edelstahlgeh�usen ausger�stet, die den Piezokeramikstapel sch�tzen. Die Modelle P-242.10 und P-242.20 sind mit einem Aluminiumgeh�use und Edelstahlkopf- und Fu�st�cken ausger�stet und werden �ber Zugschrauben vorgespannt.

Anwendungsbeispiele: Pr�zisionsfertigung, adaptive Mechanik, aktive Schwingungsd�mpfung, aktive Strukturen, statische und dynamische Positionierung von schweren Teilen, Krafterzeugung f�r Materialerm�dungstests, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P-242.20 (links) und P-242.40 (P-246.70) Translatoren

�� Abb. P242A�� P-242, Geh�use A, Abmessungen

�� Abb. P242B-246�� P-242, Geh�use B, P-246 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-177.10 �� Positionssensor, (DMS, s. Seite 27)

P-702.10 �� Hochtemperatur-Option (s. Seite 28)

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

P-706.00�� Wassergesch�tztes Geh�use (nicht f�r P-242.10 und .20, s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-242.00 in P-242.07.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

Montagehinweise siehe Seite

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P-243, P-247 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

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� Stellwege bis 120 �m

� Druckbelastbarkeit bis 30000 N

� Zugbelastbarkeit bis 3500 N

� Extrem Hohe Steifigkeit

� Optionen: UHV, Tief- u. Hochtemperatur, Wassergesch�tzt

P-243 und P-247 Piezo-Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub-ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung. Durch die hohe Belastbarkeit und die interne Vorspannung sind sie ideal f�r Anwendungen im Maschinenbau und zur aktiven Schwingungsd�mpfung geeignet.

P-247 Modelle sind mit d�nneren Piezokeramikscheiben ausger�stet als die P-243 Modelle und bieten dadurch einen gr��eren Stellweg bei gleichen Abmessungen. Ihre maximale Betriebsspannung ist auf -1000 V begrenzt, wobei Spannungen �ber -750 V nur f�r kurze Zeit anliegen sollten.

Die Modelle P-247.xx, P-243.30 und P-243.40 sind mit intern vorgespannten Edelstahlgeh�usen ausger�stet, die den Piezokeramikstapel sch�tzen. Die Modelle P-243.10 und P-243.20 sind mit einem Aluminiumgeh�use und Edelstahlkopf- und Fu�st�cken ausger�stet und werden �ber Zugschrauben vorgespannt.

�� Abb. P243-247� P-243.10 (links) und P-243.40 (P-247.70) Translatoren

�� Abb. P243A�� P-243, Geh�use A

�� Abb. P243B-247�� P-243, Geh�use B, P-247 Abmessungen

Optionen (ab Werk): ¹)

P-177.10 �� Positionssensor, (DMS, s. Seite 27)

P-702.10 �� Hochtemperatur-Option (s. Seite 28)

P-702.20 �� Tieftemperatur-Option (s. Seite 28)

P-703.20 �� Hochvakuum-Option (s. Seite 28)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

P-706.00�� Wassergesch�tztes Geh�use (nicht f�r P-243.10 und .20, s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-243.00 in P-243.07.

Zubeh�r:

Verl�ngerungskabel u. Stecker: siehe Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

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P-286, P-288, P-289 HVPZT-Disk-Translatoren

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� Stellwege bis 200 �m

� Sub-nm-Aufl�sung

� Preisg�nstig

� Flaches Design

� F�r kleine Kr�fte

Disk-Translatoren geh�ren zur Gruppe der Bimorph-Piezo-Aktoren (Prinzipbeschreibung siehe Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren"). P-286 bis P-289 Translatoren sind hochaufl�sende Linearaktuatoren f�r statische und dynamische Anwendungen. Sie bieten eine Ansprechzeit im ms-Bereich und Sub-nm-Aufl�sung.

Im Vergleich mit Stapeltranslatoren zeichnen sie sich durch einen relativ gro�en Stellweg (bis 200 �m) bei extrem kleinen Abmessungen aus. P-286 kann am �u�eren Ring festgeschraubt werden. Die Auslenkung erfolgt �ber das zentrale Anschlu�st�ck mit Gewindebohrung. P-288 und P-289 sind Doppel-Disk-Konstruktionen, deren Auslenkung zwischen den gegen�berliegenden Anschlu�st�cken stattfindet.

Anwendungsbeispiele: Statische und dynamische Positionierung, pneumatische Ventile, Patch-Clamp, etc. (s. Seite 2).

�� Abb. P286-8-9�� P-286 (l), P-288 (m), P-289 (r) Disk-Translatoren

�� Abb. P286�� P-286.xx Abmessungen

�� Abb. P288�� P-288 Abmessungen

�� Abb. P289�� P-289 Abmessungen

Bestellhinweis:

P-286.20: Disk-Translator, 100 �m, 300 mm Teflonkabel

P-286.23: Disk-Translator, 100 �m, ohne Kopfst�ck und Silikonisolierung, 300 mm Teflonkabel

P-286.40: Disk-Translator, 100 �m, 1 m Koaxialkabel, LEMO-Stecker

P-288.00: Mini Disk-Translator, 50 �m, 300 mm Teflonkabel

P-289.20: Double Disk-Translator, 200 �m, 300 mm Teflonkabel

P-289.40: Double Disk-Translator, 200 �m, 1 m Koaxialkabel, LEMO-Stecker

Optionen (ab Werk): ¹)

P-705.00 �� Positive Polarit�t (s. Seite 28)

1) Beim Bestellen von Piezos mit Optionen bitte die letzte Zahl der Bestellnummer in 7 �ndern, z. B. P-286.00 in P-286.07.

Zubeh�r:

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P-803 Multilayer-LVPZT-Biege-Aktoren

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� Stellwege bis 1 mm

� Schnelle Ansprechzeit (� 10 ms)

� Aufl�sung im Nanometerbereich

� Niedrige Betriebsspannung (0 bis 60 V)

� F�r OEM-Anwendungen

P-803 Biege-Aktoren bieten Stellwege bis 1 mm, Kr�fte bis �0,75 N und Ansprechzeit im Millisekundenbereich. Die monolithischen Aktoren werden aus 40 mm dicken Keramikschichten im Multilayer-Verfahren hergestellt. Sie sind mit zwei Au�enelektroden und einer eingesinterten Mittelelektrode ausger�stet, die das Element in zwei Segmente gleicher Kapazit�t teilen, �hnlich wie bei klassischen Parallelbimorph-Biegelementen. (siehe im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren").

Multilayer-Bieger bieten verschiedene Vorteile gegen�ber klassischen Bimorphelementen, die durch Verkleben von zwei Keramikplatten (0,1 bis 1 mm) hergestellt werden: schnellere Ansprechzeit und h�here Steifigkeit. Der Hauptvorteil liegt jedoch in der drastisch reduzierten Betriebsspannung (Faktor 3 bis 10) von nur 60 V. Durch die reduzierte Spannung k�nnen neue Anwendungen wie z.B. in der Medizintechnik erschlossen werden.

Anwendungsbeispiele: Wire-Bonder, faseroptische und elektrische Schalter, Strahlablenkung, Mikropositionierung, Beschleunigungssensoren.

�� Abb. P803�� P-803 Biege-Aktoren

�� Abb. P803Clamp�� Empfohlene Klemmung: nichtleitendes Material mit abgerundeten Klemmfl�chen (zum Schutz der Keramik), nicht im Lieferumfang enthalten. Anschlu�belegung: 1 (wei�): GND; 2 (schwarz): 0 bis +60 V; 3 (rot): +60 V

Sonderausf�hrungen auf Anfrage!

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PT120 PT130 PT 140 Piezokeramische-Rohre

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� NanoPositionierung

� Scanning-Mikroskopie

� Ultraschall-Anwendungen

� Piezoelektrische Pumpen

� Mikrodosierung

Piezo-Rohre sind monolithische Aktoren, die radial und axial kontrahieren, wenn eine Spannung zwischen der inneren und �u�eren Elektrode angelegt wird. Wenn die Piezo-Rohre mit vierfach segmentierten Au�enelektroden ausger�stet sind, k�nnen sie als XY Scanner eingesetzt werden.

�� Abb. PT120�� PT 120 Piezo-Rohre

�� Abb. PT120�� PT 120 Abmessungen

Technische Daten:

Elektroden: �� Silberbeschichtung (innen und au�en) oder CuNi au�en

Polarisierung: �� Innenelektrode positiv

Max. Betriebsspannung U_max.:�� 500 oder 1000 V

Die folgenden Standardmodelle sind Beispiele aus unserem Lieferprogramm. F�r weitere Informationen fordern Sie bitte unser spezielles Datenblatt an.

Hochaufl�sende Verst�rker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

F�r OEM-Anwender sind Sonderabmessungen und -Ausf�hrungen erh�ltlich.

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Speziall�sungen f�r OEM-Piezokeramik-Anwendungen

Abb. PZTCeramPart�� Auswahl an Piezokeramischen Scheiben, Ringen, Rohren

PI Ceramic - PI�s ISO 9001 zertifizierte Tochterfirma - vereint Forschung, Entwicklung, Herstellung und Bearbeitung von

� Piezoelektrischen und dielektrischen Keramikmaterialien und Bauelementen

� Piezoelektrische Aktuatoren in Hochvolt- und Niedervoltausf�hrung

� Multilayer-Aktoren in Stapel und Biegerbauweise

� Piezo-Ringen, -Rohren, -Scheiben, -Platten und -Scherelementen

� Ultraschallwandlern

� Piezo-Motoren

� OEM-Produkten

Piezokeramische Materialien

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Eine gro�e Auswahl von Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) Materialien h�chster Qualit�t werden f�r die verschiedensten Anwendungen angeboten. Scheiben, Platten, R�hrchen, Ringe und Scherplatten in einer Vielzahl von Standard- und Sondergr��en aus den folgenden Materialien stehen zur Verf�gung (bitte fordern Sie unser spezielles Datenblatt an):

PIC 140

PIC 140 Piezokeramik zeichnet sich durch hohe mechanische Stabilit�t und Polarisationsstabilit�t in Verbindung mit hoher mechanischer G�te und hoher Curietemperatur aus. Anwendungen liegen in Bereichen der Leistungsultraschallwandlung, Sonar-Navigation, Entfernungsmessung und medizinischen Diagnostik.

PIC 141

PIC 141 Piezokeramik zeichnet sich durch hohe elektromechanische Kopplungsfaktoren bei �berdurchschnittlicher mechanischer G�te, Stabilit�t und Widerstandsf�higkeit gegen hohe elektrische Feldst�rken aus.

PIC 151

PIC 151 Piezokeramik zeichnet sich durch die h�chsten piezoelektrischen Kopplungsfaktoren sowie dielektrischen und piezoelektrischen Konstanten aus. Sie ist besonders gut f�r Mikropositionierungs-Komponenten, niederfrequente Ultraschallwandler, Summer und Ultraschallautsprecher geeignet.

PIC 155 / PIC 255

Die PIC 155 und PIC 255 Piezokeramiken zeichnen sich durch einen hohen piezoelektrischen Kopplungsfaktor, niedrige mechanische G�te und minimale Abh�ngigkeit der dielektrischen Konstanten von Temperatur�nderungen aus. Die Materialien sind besonders gut f�r gepulste Niederfrequenz-Ultraschallwandler und als Sender/Empf�nger bei Anwendungen mit gro�en Temperaturschwankungen geeignet.

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OEM-Piezoelektrische Aktuatoren

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� Sonderkeramik

� Sonderabmessungen

� Sonderisolationen

� Sonderendst�cke

� Sondergeh�use

Unsere eigene Keramikfertigung bei PI Ceramic versetzt uns in die Lage, Sonder-Piezo-Translatoren, -Bieger, -Scheraktoren und -Rohre f�r fast jede OEM-Anwendung herzustellen. Wenn Sie die passende L�sung nicht in diesem Katalog finden, sprechen Sie mit unseren Spezialisten.

�� Abb. OEMTRANSLATORENtacks �� Auswahl an OEM-Piezo-Translatoren

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Optionen und Zubeh�r

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Optionen (ab Werk)

Die folgenden Optionen werden bereits bei der Herstellung in den Piezo-Translator integriert. Sie m�ssen deshalb zusammen mit dem Piezo bestellt werden und k�nnen sp�ter nicht nachger�stet werden. Wenn Sie Fragen haben, helfen Ihnen unsere Produktspezialisten gerne weiter.

P-177.10 DMS Positionssensor f�r HVPZT Stapeltranslatoren

F�r Positionierungen mit h�chster Wiederholbarkeit und Genauigkeit wird die Option P-177.10 Dehnungsme�streifen-Positionssensor empfohlen. (Weitere Informationen zu Positionssensoren und geregelten Betrieb von Piezo-Translatoren finden Sie auf Seite und ). Translatoren mit DMS Positionssensor sind zus�tzlich zum Spannungskabel mit einem 1 m langen Sensorkabel (PUR-ummantelt mit LEMO FFA.0S.304.CLAC32 Stecker) ausger�stet.

Die Option P-177.10 beinhaltet den Abgleich eines PI Servo Controllers (siehe Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�), wenn er zusammen mit dem Piezo-Translator bestellt wird.

Erweiterter Temperaturbereich

Standard-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren arbeiten im Temperaturbereich von -40 �C bis 80 �C (-40 �F bis +176 �F).� F�r einige Anwendungen ist ein erweiterter Bereich erforderlich.

Dazu sind die folgenden Optionen erh�ltlich:

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P-702.10 (nur f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)

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�� Hochtemperaturbereich

�� -40 �C bis +150 �C / -40 �F bis +302 �F / 233 K bis 423 K

Die Piezoaktuatoren sind mit speziellen Isolationsmaterialien aufgebaut. Die Betriebsspannung wird �ber zwei 50 cm lange Teflonlitzen ohne Stecker zugef�hrt.

P-702.20 (nur f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)

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�� Tieftemperaturbereich

�� -273 �C bis +80 �C/ -452 �F bis +176 �F / 0 K bis 353 K

Prinzipiell funktionieren alle Piezokeramiken bis nahe 0 Kelvin. Piezo-Translatoren bestehen jedoch aus einer Kombination verschiedener Materialien (Keramik, Metall, Isolationsmaterialien...), was die Situation bedeutend schwieriger macht.

Damit Piezo-Translatoren auch bei kryogenen Temperaturen funktionieren, m�ssen spezielle Klebstoffe und Isolationsmaterialien bei ihrem Aufbau verwendet werden. Die Tieftemperatur-Translatoren werden als reine Keramikstapel ohne Geh�use und mechanische Vorspannung ausgeliefert. Die Betriebsspannung wird �ber zwei 50 cm lange Teflonkabel ohne Stecker zugef�hrt.

Informationen zur Temperaturabh�ngigkeit des Piezoeffektes finden Sie im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", S.

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Vakuum Optionen

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Alle PI-Piezo-Translatoren k�nnen problemlos im Druckbereich au�erhalb von 10 bis 0,01 Torr eingesetzt werden (siehe im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren", Seite ). F�r Anwendungen, die eine reduzierte Ausgasrate erfordern, werden die Hochvakuum-Optionen P-703.10 und P-703.20 empfohlen.

P-703.10 UHV (f�r nicht-vorgespannte Translatoren )

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Die UHV-Translatoren werden als reine Keramikstapel ohne Geh�use ausgeliefert. Die Betriebsspannung wird �ber zwei 50 cm lange Teflonkabel ohne Stecker zugef�hrt.

Die Piezoaktuatoren k�nnen bis 150 �C ausgeheizt werden. Der nominale Stellweg wird um ca. 20 % reduziert (bedingt durch die steife Vakuumisolation). Bei Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren beinhaltet die Option P-703.10 automatisch auch P-702.10.

P-703.20 UHV (f�r vorgespannte Translatoren)

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Die Piezokeramikstapel werden in Edelstahlgeh�usen mit Ausgasbohrungen ausgeliefert. Die Betriebsspannung wird �ber zwei 50 cm lange Teflonkabel ohne Stecker zugef�hrt.

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P-705.00 Positive Polarit�t (f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)

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Alle Standard-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren von PI haben negative Polarit�t. Die Betriebsspannung ist negativ; das Geh�use ist positiv/GND. Mit der P-705.00 Option k�nnen Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit positiver Polarit�t betrieben werden.

Geh�use (GND) ist negativ (schwarzes Kabel).

Betriebsspannung ist positiv (rotes Kabel).

P-706.00 Wassergesch�tztes Geh�use

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Das wassergesch�tzte Geh�use wird empfohlen, wenn Die Piezoaktuatoren in hoher Luftfeuchtigkeit, Spritzwasser, �lnebel o.�. Bedingungen eingesetzt werden. Durch das speziell abgedichtete Stahlgeh�use mit integrierten Dehnungszonen wird die Piezokeramik gesch�tzt. Bitte sprechen Sie mit unseren Spezialisten bez�glich Abmessungen und Verf�gbarkeit.

Die folgenden Translatoren k�nnen mit einem wassergesch�tzten Geh�use ausger�stet werden:

P-844.xx, P-845.xx, P-242.30/40, P-243.30/40, P-246.xx, P-247.xx.

�� Abb. P706�� Piezo-Translator mit wassergesch�tztem Geh�use

Kugelkopfst�cke

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Um Biegemomente und Scherkr�fte von der Piezokeramik fernzuhalten, wird der Einsatz von Kugelkopfst�cken empfohlen. Kugelkopfst�cke sind bei einer Reihe von Translatoren als Option (ab Werk) verf�gbar. Die Abmessungen und Bestellnummern k�nnen aus den technischen Daten der jeweiligen Translatoren entnommen werden. Hinweis: durch den Punktkontakt des Kugelkopfst�ckes, wird die Steifigkeit des Gesamtsystems reduziert.

Zubeh�r

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Im Gegensatz zu den oben beschriebenen Optionen kann das unten aufgef�hrte Zubeh�r auch nachtr�glich installiert werden.

Kabel und Adapter

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Eine Vielzahl von Kabeln, Verl�ngerungskabeln und Adaptern sind verf�gbar. Beschreibung siehe Kapitel "Zubeh�r� am Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

P-176.10/20/30 Magnetadapter

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Um P-820, P-840/1 und P-244/5 Translatoren an verschiedene Positionierungseinheiten anzukoppeln werden die Magnetadapter P-176.10/20/30 angeboten. P-176.30 kann auf das Kopfst�ck des P-820 aufgeklebt werden. P-176.20 und P-176.10 k�nnen in die Kopfst�cke von P-840/1 bzw. P-244/5 eingeschraubt werden.

�� Abb. P176-10�� P-176.10 Magnetadapter

�� Abb. P176-30�� P-176.30 Magnetadapter

P-176.50/60 Flexibles Kopfst�ck

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Piezokeramik ist empfindlich gegen Biegekr�fte. Die Flexiblen Kopfst�cke P-176.50 und P-176.60 werden f�r Anwendungen empfohlen, wo es nicht m�glich ist diese Kr�fte zu vermeiden. Sie k�nnen auf die Kopfst�cke der P-842/3 bzw. P-844/5 Translatoren geschraubt werden.

Abb. P176-60�� P-176.60 Flexibles Kopfst�ck

Abb. P176-XX�� P-176.50, P-176.60 Flexible Kopfst�cke

Models

Gewinde

� [mm]

L [mm]

Kippwinkel

[deg]

Axiale Steifigkeit

[N/�m]

Biegesteifigkeit

[Nm/rad]

P-176.50

M5/M5

�0,5

100

P-176.60

M8/M8

�0,5

200

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Hinweise (Technische Daten)

A2�� Stellweg bei 0 bis 100 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis +100 V Betriebsspannung. Max. Betriebsspannungsbereich kurzzeitig: -20 bis +120 V. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

A4�� Stellweg bei 0 bis -1000 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis -1000 V Betriebsspannung. Translatoren mit einer max. Betriebsspannung von -1000 V sollten nicht f�r l�ngere Zeit bei �ber �750 V betrieben werden. Der Betrieb im Bereich von +200 bis -750 V wird f�r max. Lebensdauer empfohlen. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

A5�� Stellweg (geregelt)
Typischer Stellweg im geschlossenen Regelkreis. PI LVPZT Verst�rker haben einen Ausgangsspannungsbereich von -20 bis +120 V, um gen�gend Regelreserve f�r Lastschwankungen etc. zu bieten.

A6�� Stellweg (geregelt)
Typischer Stellweg im geschlossenen Regelkreis. PI-HPZT-Verst�rker haben einen Ausgangsspannungsbereich von -3 to -1100 V, um gen�gend Regelreserve f�r Lastschwankungen etc. zu bieten.

A7�� Max. Betriebsspannung
Translatoren mit einer max. Betriebsspannung von -1000 V sollten nicht f�r l�ngere Zeit bei �ber -750 V betrieben werden. F�r geregelte Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren wird der Betrieb im Bereich von +200 bis -750 V empfohlen (gro�er Stellweg und lange Lebensdauer). Translatoren mit einer max. Betriebsspannung von -1500 V sollten nicht f�r l�ngere Zeit bei �ber -1000 V betrieben werden. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

A8�� Stellweg bei 0 bis +500 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis +500 V Betriebsspannung. Max. Betriebsspannungsbereich: -100 bis +600 V.

B�� Integrierter Positionssensor
Absolut messende kapazitive Sensoren und DMS Sensoren werden eingesetzt, um die Positionsinformation an den Regler zur�ckzumelden. Siehe auch Seite , im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

C1�� Aufl�sung
Die Aufl�sung Piezoelektrischer-Aktuatoren ist grunds�tzlich unbegrenzt, weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird . Statt dessen wird das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Me�ergebnisse (RMS, 1 s), gemessen mit dem E-503 Verst�rkermodul im E-500/501 System.

C2�� Aufl�sung
Die Aufl�sung von Piezo-Aktoren ist grunds�tzlich unbegrenzt, weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird . Statt dessen wird das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Me�ergebnisse (RMS, 1 s), gemessen mit dem E-507 Verst�rkermodul im E-500/501 System.

C3�� Aufl�sung (geregelt / ungeregelt)
Die Aufl�sung von Piezo-Aktoren ist grunds�tzlich unbegrenzt, weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird . Statt dessen wird das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Me�ergebnisse (RMS, 1 s), gemessen mit dem E-503 Verst�rkermodul im E-500/501 System.

C4�� Aufl�sung (geregelt / ungeregelt)
Die Aufl�sung von Piezo-Aktoren ist grunds�tzlich unbegrenzt, weil sie nicht durch Haft- und Gleitreibung limitiert wird . Statt dessen wird das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Me�ergebnisse (RMS, 1 s), gemessen mit dem E-507 Verst�rkermodul im E-500/501 System.

C6�� Wiederholbarkeit (typ.)
Typische Werte im geschlossenen Regelkreis. Die Wiederholbarkeit ist vom tats�chlich verstellten Weg abh�ngig. Bei kleinen Stellwegen ist die Wiederholbarkeit bedeutend besser.

D1�� Steifigkeit
Statische Gro�signalsteifigkeit der Piezokeramik im Aktor, bei Raumtemperatur und 0 V Betriebsspannung (dieser Wert kann in der Praxis nicht erreicht werden. Ankoppelverluste f�hren normalerweise zu deutlichen Verlusten).� Die Kleinsignalsteifigkeit und dynamische Steifigkeit k�nnen sich, bedingt durch die Kombination verschiedener Materialien im Aktor und durch Effekte, die durch die aktive Natur des Piezomaterials hervorgerufen werden, deutlich unterscheiden. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

D2�� Blockierkraft
Krafterzeugung (der Keramik im Stellelement) unter idealen Bedingungen bei unendlich steifer Einspannung.� Dieser Wert kann in der Praxis nicht erreicht werden. Ankoppelverluste und die begrenzte Steifigkeit des �u�eren Aufbaus f�hren normalerweise zu erheblichen Verlusten.� Krafterzeugung ist immer mit einer Reduktion des Piezo-Stellweges gekoppelt. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

D3�� Druck- / Zugbelastbarkeit
Spezifiziert die maximale Kraft, die in den Aktor eingeleitet werden darf und wird durch die Piezokeramik und Vorspannung begrenzt. Wenn gr��ere Kr�fte angelegt werden, kann es zur Besch�digung der Keramik oder des Positionssensors kommen. Die maximalen Kr�fte m�ssen auch bei dynamischen Anwendungen beachtet werden.

Beispiel: die dynamischen Kr�fte bei sinusf�rmigem Betrieb mit 1000 Hz, 2 �m Amplitude und 1 kg bewegter Masse betragen ungef�hr � 40 N. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

D6�� Max. Drehmoment (am Kopfst�ck)
Ist das maximale Drehmoment, das am Kopfst�ck angelegt werden kann, ohne da� Schaden an der Piezokeramik auftritt. Es wird begrenzt durch die Piezokeramik und Geh�usekonstruktion. Bei verschiedenen Translatoren sind Schl�sselfl�chen am Kopfst�ck angebracht, um w�hrend der Montage ein Gegendrehmoment aufbringen zu k�nnen. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

F1�� Elektrische Kapazit�t
Die Kapazit�tswerte in den technische Daten sind Kleinsignalwerte (gemessen bei 1 V, 1000 Hz, 20� C, lastfrei; Gro�signalwerte bei Raumtemperatur liegen 30 bis 50% h�her). Die Kapazit�t von Piezokeramik �ndert sich mit der Amplitude, Temperatur und Last, bis zu 200% des unbelasteten Kleinsignalwertes bei Raumtemperatur. Weitere Informationen zum elektrischen Leistungsbedarf sind in den Frequenzkurven der einzelnen Verst�rker im Kapitel �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller� enthalten.

F2�� Dynamischer Strom-Koeffizient (DSK)
Durchschnittlicher elektrischer Strom (vom Verst�rker), der ben�tigt wird, um einen Piezo-Aktor pro Einheit Frequenz [Hz] und Auslenkung [�m] zu betreiben (Sinusbetrieb, offener Regelkreis; bis 50 % mehr im geschlossenen Regelkreis). Beispiel: Um herauszufinden, ob ein gew�hlter Verst�rker einen Piezo-Aktor bei 100 Hz mit 5 �m Amplitude betreiben kann, mu� der DSK mit 100 und 5 multipliziert werden. Wenn das Resultat kleiner oder gleich dem Dauerstrom des gew�hlten Verst�rker ist, eignet sich dieser f�r die Anwendung. Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

G2�� Resonanzfrequenz (ohne Last)
Die erste Resonanzfrequenz in Stellrichtung mit einseitig montiertem Aktor (ist nicht gleichbedeutend mit der maximalen Betriebsfrequenz). Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

G3�� Resonanzfrequenz mit Zusatzmasse
Die erste Resonanzfrequenz in Stellrichtung mit einseitig montiertem Aktor und einer am Kopfst�ck montierten Masse (ist nicht gleichbedeutend mit der maximalen Betriebsfrequenz). Siehe auch im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".

H2�� Standard-Betriebstemperaturbereich
Positionsgeregelte Systeme werden f�r optimale Genauigkeit bei Raumtemperatur abgeglichen. Ein Neuabgleich ist empfehlenswert, wenn der Betrieb bei einer deutlich h�heren oder tieferen Temperatur stattfinden soll.

J1�� Spannungsanschlu�
Standardstecker f�r die Betriebsspannung sind LEMO-Stecker.

VL: (Voltage Low) LEMO FFA.00.250, m�nnlich. Koaxialkabel RG 178, Teflonisolation, 1 m.
VH: (Voltage High) LEMO FFA.0A.250, m�nnlich. Koaxialkabel RG 174, PVC-Isolation, 1 m.
D: D-Sub-Spezialstecker
PT: Teflonlitzen ohne Stecker

Verl�ngerungskabel und Adapter finden Sie im Zubeh�r am Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

J2�� Sensoranschlu�
Standardstecker f�r die Positionssensoren sind LEMO-Stecker.

C: LEMO FFA.00.250, weiblich. Koaxialkabel, Teflonisolation, 1 m.
L: LEMO FFA.0S.304, weiblich. Koaxialkabel, PUR-Isolation, 1 m.
D: D-Sub-Spezialstecker

Verl�ngerungskabel und Adapter finden Sie im Zubeh�r am Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

K�� Masse des Aktors ohne Kabel
Die Masse von Translatoren mit DMS Sensoren ist 1 bis 3 g gr��er als die der vergleichbaren Modelle ohne Sensor. Die Masse eines 1 m langen Spannungskabels mit LEMO Stecker betr�gt 19 g (VH) bzw. 12 g (VL). Die Masse eines 1 m langen Sensorkabels mit LEMO Stecker betr�gt 21 g

L�� Material: Geh�use / Endst�cke
Geringe Anteile anderer Materialien k�nnen intern verwendet werden (f�r Vorspannung, Ankopplung, Montage, thermische Kompensation, etc.). Kugelkopfst�cke sind aus ferromagnetischem Stahl.

Al: Aluminium.
N-S unmagnetischer Edelstahl
S: ferromagnetischer Stahl
I: Invar

M�� Empfohlene Verst�rker/Controller
Siehe Tabelle am Ende des Kapitels �Piezo-Elektronik: Piezoverst�rker, Piezo-Controller�.

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�� 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co

PI Katalog 1998, Mikropositionierung / Nanopositionierung. � 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co

P-802.00, P-802.10, P-804.10 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren ohne Geh�use

P-305, P-306 HVPZT-Ringpiezotranslatoren ohne Geh�use

P-250 Hochvolt-PZT Piezo-Translator f�r Mikrometerschrauben

P-810 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten

P-820 Niedervolt-PZT Piezo-Translatoren f�r kleine Lasten

P-410 Pico Piezo-Translatoren mit kapazitivem Positionssensor

P-170 ..., P-178 Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

P-242, P-246 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

P-243, P-247 Vorgespannte Hochlast-Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren mit / ohne Positionssensor

PT120 PT130 PT 140 Piezokeramische-Rohre

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P-702.10 (nur f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)

P-702.20 (nur f�r Hochvolt-PZT Piezo-Translatoren)

P-703.10 UHV (f�r nicht-vorgespannte Translatoren )

P-176.10/20/30 Magnetadapter

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